高真空磁控濺射鍍膜機
設備基本配置說明
專業團隊研發制造,由真空系統、卷繞系統、磁控靶濺射系統、控制系統等部分組成,可實現6U薄膜上濺射鍍銅、鋁、鉛、錫、銀、鉻、鈦等,可以在薄膜、布匹、海綿、銅箔、鋁箔、紙張等多種卷材表面精確鍍膜。
真 空 室:圓形或方形
鍍 材:銅靶、鋁靶、合金靶、陶瓷靶材等。
用 途:電子屏蔽膜、電子導電膜、光學膜等。
蒸 發 源:平面靶、圓柱靶,配備等離子清洗源
控 制 系 統:西門子、三菱等多種集成控制系統,人機界面,PLC自動控制,高精度交流伺服電機傳動,恒張力卷繞,控制更穩定。
真 空 系 統:采用名牌分子泵、羅茨泵、滑閥泵等多種抽氣系統,抽氣速度更快,更節能環保;配置超低溫冷阱,適用于任何氣候環境;配置膜厚在線檢測系統,可即時檢測和顯示膜層厚度。
