青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

磁控濺射鍍膜機有哪些種類

2021-07-10 17:36:51

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磁控濺射鍍膜機有哪些種類


磁控濺射系統的原理是電子在電場E的作用下飛向襯底的過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生ar正離子和新的電子。Ar離子在電場作用下向陰極靶加速,以高能轟擊靶表面,從而濺射靶材。

  該技術包括許多類型。每種方法都有不同的工作原理和應用對象。然而,它們有一個共同點:磁場和電場之間的相互作用使電子圍繞靶表面旋轉,從而增加了電子撞擊氬產生離子的可能性。產生的離子在電場的作用下撞擊靶材表面,濺射靶材。

  磁控反應濺射絕緣體使用起來似乎很容易,但操作起來卻很困難。主要問題是反應不只發生在零件表面,而且還發生在陽極、真腔表面和靶源表面,從而導致滅火、靶源和工件表面起弧。德國萊比錫發明的雙靶技術很好地解決了這一問題。其原理是一對靶源是彼此的陰極和陽極,因此陽極表面被氧化或氮化。

  在450磁控濺射中,由于運動中的電子在磁場中受到洛倫茲力的作用,其運動軌跡會發生彎曲甚至產生螺旋運動,其運動路徑會增大,從而增加了與工作氣體分子的碰撞次數和等離子體體積密度的增加,結果表明,該薄膜可以在較低的濺射電壓和濺射壓力下工作,減少了薄膜污染的趨勢。

  在機械加工工業中,表面功能膜、超硬膜和自潤滑滑動膜的表面沉積技術自誕生以來得到了較快的發展??稍黾颖砻嬗捕?、復合韌性、耐磨性和高溫化學穩定性。磁控濺射技術可以延長涂料產品的使用壽命。


作者: 青州市中拓鍍膜機械科技有限公司

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